1. 進(jìn)樣系統(tǒng)氣體控制:氮?dú)獾入x子體氣20L/min;輔助氮?dú)?.5L/min,由計(jì)算機(jī)控制的電磁閥系統(tǒng)進(jìn)行氣體流量控制;霧化氣氣體質(zhì)量流量控制,0.3-1.0L/min; 2. 等離子體發(fā)生系統(tǒng):激發(fā)頻率為2450MHz;等離子體功率固定為1KW; 3. 光學(xué)系統(tǒng):焦距:600毫米,光柵刻線(xiàn):2400條/mm;波長(zhǎng)范圍為178-780nm; 4. 特制CCD檢測(cè)器,量子效率高達(dá)90%,超高靈敏度;檢測(cè)器采用Peliter半導(dǎo)體制冷到0°C,低暗電流和背景噪音 |